Vakuum komponentlari

Issiqlik bilan ishlov berish asosan oksidlanish, diffuziya va tavlanish jarayonlarini o'z ichiga oladi.Oksidlanish - bu qo'shimcha jarayon bo'lib, unda kremniy gofretlari yuqori haroratli pechga joylashtiriladi va ular bilan reaksiyaga kirishish uchun kislorod qo'shiladi va gofret yuzasida silika hosil qiladi.Diffuziya molekulyar termal harakat orqali moddalarni yuqori konsentratsiyali hududdan past konsentratsiyali hududga o'tkazishdir va diffuziya jarayoni kremniy substratidagi o'ziga xos doping moddalarini doping qilish uchun ishlatilishi mumkin va shu bilan yarimo'tkazgichlarning o'tkazuvchanligini o'zgartiradi.